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2020/02/13
ハイライト
水素化アモルファスシリコン/結晶シリコンの高品質ヘテロ接合界面の水素分布を解明
名古屋大学 後藤和泰
東京大学 小倉正平
東京大学 福谷克之
名古屋大学 宇佐美徳隆
(計画研究A02、A05-1)
高品質な水素化アモルファスシリコンと結晶シリコンとのヘテロ接合界面の水素分布を解明
—結晶シリコンと異種材料とのヘテロ接合における水素分布の設計指針を提示—
Kazuhiro Gotoh, Markus Wilde, Shinya Kato, Shohei Ogura, Yasuyoshi Kurokawa, Katsuyuki Fukutani, and Noritaka Usami, AIP Advances, 9, 075115, 2019, DOI: 10.1063/1.5100086